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    真空油:油擴散泵的常見故障及原因

    來源:    作者:    發布時間:2012-11-12 11:02    瀏覽量:296

     

    【惠豐潤滑油提供:油擴散泵的常見故障及原因】

    由于真空設備長期運轉及其它一些因素的影響,擴散泵的性能可能會逐漸變壞,現將使用中經常出現的一些問題如述如下;

    1) 極限真空變低
        原因: a.系統中有滲漏;
               b.系統太臟;
               c.泵油污染;
               d.加熱功率不夠;
               e.冷卻水不足;
               f.過量或過冷的冷卻水;
               g.前級壓力高;檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象;
               h.快冷管內有水。

    2) 抽氣較慢
        原因: a.加熱功率低;
               b.油量不足;
               c.噴帽安裝位置不當或受損。

    3) 進口壓力波動
        原因: a.加熱器輸入功率不當;
               b.油脫氣;
               c.擴散泵進口前面系統有滲漏。

    4) 工作腔污染大
        原因: a.前級壓力高;
               b.在高于10-1Pa壓力下長期工作;
               c.系統操作有誤。

    5) 返油率過大:
        原因: a. 頂噴嘴帽松動,間隙過大;
               b. 加熱功率不對

     

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